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    半導體潔凈烘箱

    半導體潔凈烘箱

    產品詳情

    一、 適用區域

    本烘箱適合于潔凈車間內使用,適用于高精密半導體中烘干,膠水固化,精密光學元件清洗后烘干等熱處理。

    二、 設備特點

    1. SUS304 1.5mm不銹鋼板,全滿焊工藝;

    2. 箱內風道內設有潔凈空氣入口并裝有高效過濾器??墒褂脫Q氣和不換氣模式,可以使箱內保證微正壓,以保證污染物不能進入內箱;

    3. 高效過濾器HEPA過濾網構造潔凈室,可以對箱體內氣體進行單向過濾和循環過濾。根據使用要求,可以滿足潔凈級別ISO Class 5(國標100級),ISO Class 6(國標1000級),ISO Class 7(國標10000級)等各種等級的需求;

    4. 配置自動充氮氣裝置,與自動開關風門進行充氮烘烤;

    5. 全新開發觸摸屏操作系統,帶高精度PID主控儀,控溫精度為±0.1℃,自動恒溫??梢员4媾浞?,查看溫度曲線,導出升溫數據等;

    6. 根據使用要求,可以接受定制。

    三、 規格明細表

    型號

    YH-J100-ES-02

    工作穩定范圍

    常溫—150℃

    使用電壓

    三相五線380V,50Hz

    控溫精度

    ±0.1℃

    加熱功率

    6KW

    溫度均勻性

    ±3%℃

    溫度穩定度

    ±2℃

    尺寸

    工作尺寸

    H910mm*W620mm*D620mm


     

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